久久AV无码乱码A片无码波多 ,国产精品国产三级国产普通话,国产999精品久久久久久

LPCVD 鍍膜機

產品特點 1.成熱的高產能工藝、雙模溫度控制技術、薄膜硅保護技術:
2.具備多種鍍膜技術：多層復合膜，摻雜多晶硅技術;
3.專利快速降溫爐體：最新專利技術使爐體溫度快速降到所需溫度，降溫速率提升25%以上，明顯提升爐管內溫度均勻性；
4.快速自適應壓力閉環控制技術；
5.架構完整，性能突出的MES/CCRM系統；
6.一體化工控機+模塊化工藝控制軟件；
7.全面的停電安全處理和法蘭水異常保護。

了解更多

產品應用

適用于半導體和光伏領域，針對于光伏領域TOPCon工藝電池，LPCVD設備可一站式完成隧穿氧化層/Poly層的制備。熱氧和淀積Poly層兩個工藝合二為一能夠大幅度提高產能，同時兼容i/d -Poly生長工藝。

產品參數

項目	技術指標
成膜種類	SiOx, i/d-Poly-Si
裝片尺寸	垂直裝片方式：2880片/批(182mm),2200片/批(210mm)
膜厚均勻性	Si0x均勻性：厚度1-3nm可調，精度0.1nm,用拋光片測試SiOx厚度； Poly均勻性：厚度50-200nm可調，精度1nm,用拋光片測試Poly厚度，片內：≤4%,;片間≤4%;批間≤3%(>100nm時)
UP-TIME	≥95%
工作溫度范圍	400-750℃
溫度控制	6點控溫，內外雙模控制
升溫方式	自動斜率升溫及快速恒溫功能
降溫方式	最新專利技術，6溫區分段控制主動降溫爐體
恒溫區精度及長度	±1℃/2800mm(550-700℃)
單點溫度穩定度	1±℃/6H
升溫時間	RT→750℃≤45min
降溫速率	≥5℃/min
溫度控制	雙模精確控制
系統極限真空度	<3Pa
系統漏氣率	停泵關閥后壓力升率<2Pa/min
壓力控制方式	快速調整全自動閉環
工藝控制式	工藝過程全自動控制，多重安全連鎖報警
人機交互界面	LCD顯示、觸摸操作、工藝編輯、在線監控、權限管理、班組管理、組網功能
MES/CCRM	具有