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激光剝離機

激光剝離機

產品特點 1、線形光斑的激光整形技術,實現在不同尺寸加工樣品上的剝離操作?;
2、氣浮式的工作臺實現無接觸無摩擦的加工形式,避免產生粉塵顆粒,保證裝備內部的潔凈度;
3、高精度、大尺寸、雙工位的stage設計,可有效提高生產效率?;
4、panel載臺吸附設計。激光設備的物料載臺的真空吸附部分,采用了分區域加時間延遲的設計,先吸附中間部分,再逐次往外圍吸附,保證帶柔性膜的panel可以無皺褶高效吸附。

產品應用

應用范圍:柔性顯示屏激光剝離。

產品參數

主要參數加工尺寸1"-8"
加工速度180mm/s
加工精度0.1μm
平臺參數1)移動精度
X 軸: 0.1μm
Y 軸: 0.1μm
Z 軸: 1μm
Theta 軸: 0.2°
2)定位精度
X 軸: ≤±4μm
Y 軸: ≤±4μm
Z 軸: ≤±5μm
Theta 軸: 0.1°
激光器參數1)激光器波長: 308nm
2)激光能量: ≥600W
3)激光脈沖功率: 1000mJ
4)總頻率: 600 Hz
5)脈沖寬度: 24±4ns
6)脈沖穩定性: ≤1%
工藝方式DPSS激光剝離
制程類型激光剝離
Tact time1":4.5s
8":6s
稼動率0.9


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